卓上走査型電子顕微鏡（SEM） 走査型電子顕微鏡を卓上型に小型化した電子顕微鏡の一種であり、電子線を試料に照射し反射・散乱した電子を装置の検出器で収集・処理することで試料の形態や微細構造を観察する装置。光学顕微鏡では観察できないナノ構造の観察が可能で、高解像度・高倍率・高感度・高コントラストで観察できる。 試料に電子線を照射し発生した特性Ｘ線をエネルギー分散型X線分光装置（EDS）で検出し、エネルギーで分光することにより試料の元素分析や組成分析も可能。 « PREV TERM NEXT TERM » 用語一覧
