た 用語一覧 卓上走査型電子顕微鏡（SEM） 走査型電子顕微鏡を卓上型に小型化した電子顕微鏡の一種であり、電子線を試料に照射し反射・散乱した電子を装置の検出器で収集・処理することで試料の形態や微細構造を観察する装置。光学顕微鏡では観察できないナノ構造の観察が可能で、 […]
